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膜厚測量儀

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膜厚測量儀

通過薄膜表面與基底材料反射光的干涉現(xiàn)象，可快速可靠地測量半透明及透明膜的厚度。非接觸式測量，不會破壞測試樣品。

NanoCalc測試系統(tǒng)主要包括：寬帶光源、高性能線陣CCD光譜儀、傳輸光纖、樣品測試臺及測量分析軟件。NanoCalc膜厚測量儀適合于在線膜厚測量，包括氧化層、氮化硅薄膜，感光膠片及其它類型的薄膜，NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗膜涂層。

NanoCalc膜厚儀基本性能：

◆基本型號：NanoCalc-UV/VIS/NIR & NanoCalc-UV/VIS & NanoCalc-VIS/NIR

◆光譜范圍：250~1100nm(UV/VIS/NIR) & 900-1700nm(512-NIR)
◆膜厚分辨率：0.1nm
◆測量時間：100ms~1s
◆多達10層膜厚測量
◆快速響應(yīng)：在線測量
◆基底材料：鋼/鋁/銅/陶瓷/塑料等
◆新型號：NanoCalc-MIK中整合攝影機
◆材料庫： 400種材料的n和k值且可添加
◆應(yīng)用場合：氧化物/SiNx/感光保護膜/半導(dǎo)體膜


NanoCalc膜厚儀應(yīng)用軟件
◆膜厚測量/n&k值測量
◆用戶自定義材料層結(jié)構(gòu)
◆自動調(diào)整積分時間
◆層材料信息分層顯示

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