IXION 193 SLM系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器，用于光學(xué)計(jì)量、193nm步進(jìn)光學(xué)校準(zhǔn)或高功率ArF*的帶寬控制。其小于80MHz的頻譜帶寬接近其理論傅里葉極限。該激光器的中心波長(zhǎng)可在185至194nm范圍內(nèi)定制，并可在購(gòu)買時(shí)預(yù)先配置為固定波長(zhǎng)。作為高精度光譜儀的一種選擇，系統(tǒng)具有0.001 nm光譜精度。這可以大限度地控制激光的光譜調(diào)諧。

特點(diǎn)：

● TEM00光束

● 二極管泵浦

● Q開關(guān)全固態(tài)激光器

● 單頻波長(zhǎng)193.368nm

應(yīng)用：

○ 光譜校準(zhǔn)

○ 光刻

○ 干涉度量

○ 193nm計(jì)量

○ 半導(dǎo)體檢測(cè)

○ 準(zhǔn)分子的種子源

可選項(xiàng)：

○ 圖形化用戶界面

○ Labview數(shù)據(jù)庫(kù)

○ 精確的光譜儀

○ 中心波長(zhǎng)：185-194nm

○ CDRH規(guī)格快門

產(chǎn)品參數(shù)：

所有數(shù)據(jù)均在重復(fù)頻率為6 kHz下測(cè)得

波長(zhǎng)穩(wěn)定性&光斑輪廓

光譜特性&功率穩(wěn)定性

激光頭尺寸