分辨率

晶格分辨率

[0.144 nm(120 kV)、

放大倍數(shù)

Zoom

×200～×300,000   (HC模式)

x2,000～x800,000 (HR模式)

Low Mag

x50～x1,000

加速電壓

20～120 kV (100 V/step連續(xù)可調(diào))

視野旋轉(zhuǎn)

x1,000～x40,000 (HC模式)

±90 ° 步長15 °

樣品臺

優(yōu)中心測角馬達(dá)臺

移動范圍

X、Y：±1 mm，Z：±0.3 mm

大傾斜角度

±30 °

主相機

800萬像素(縱：橫 = 3：4) (可選其他相機)

標(biāo)準(zhǔn)配置功能^※2

自動聚焦、自動軌跡記錄、 自動馬達(dá)驅(qū)動、自動拍照、自動電子槍對中、 實時FFT顯示、測量 (手動/自動)、Low dose、API(自動預(yù)輻照功能)、 鏡筒柔性烘烤、全視野圖像導(dǎo)航(Whole View)、 自動漂移校正