日本iwatsu高壓CV測(cè)量?jī)xCS-600A系列
高壓CV測(cè)量系統(tǒng)：CS-605A（5kV）/ CS-603A（3kV）
測(cè)量功率半導(dǎo)體器件（例如SiC和GaN ）的容量

日本iwatsu高壓CV測(cè)量?jī)xCS-600A系列 

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自動(dòng)進(jìn)行容量高達(dá)5kV（CS-605A）或3kV（CS-603A）的容量測(cè)量（具有掃描功能） 可以直接使用與各種設(shè)備包兼容的Curve Tracer適配器 通過(guò)探針臺(tái)支持系統(tǒng)化，以測(cè)量晶圓和芯片的容量 也可以測(cè)量高壓電容器等的電容 * LCR表是單獨(dú)需要的。 使用CV測(cè)量工具（PC軟件）的測(cè)量示例 [測(cè)量示例1]掃描測(cè)量2.5 kV              【測(cè)定例2】70V までの高分解能測(cè)定              測(cè)定ブロック図 仕様 項(xiàng)　目 CS-605A CS-603A DC バイアス 0-5kV / 0-50V 0-3kV / 0-50V 設(shè)定分解能 100mV / 1mV 測(cè)定範(fàn)囲 10kHz 100pF～10nF　 ±5％(±2pF） 100kHz 10pF～1nF 　 ±5％(±2pF） Cgd:Cds:Cgs=1:1:1，Cgd:Cds:Cgs=1:10:100の時(shí) 周波數(shù)範(fàn)囲 10kHz-100kHz LCRメータの 測(cè)定信號(hào)レベルの範(fàn)囲 100mV～1V 測(cè)定パラメータ Cies, Ciss（入力容量）、Coes, Coss（出力容量）、Cres , Crss（逆伝達(dá)容量）、 CT（端子間容量）、Cgs,Cge/Cgd,Ccg/Cds,Cce（計(jì)算値）、Rg（ゲート抵抗） 測(cè)定モード C-V: 容量 vs バイアス電圧、C-G: 容量 vs ゲート電圧、 C-Time: 容量 vs 時(shí)間 ゲートバイアス +/-25V at 1mV/step 掃引タイプ リニア/ ログ/ リスト/ シングル 掃引方向 UP Sweep 測(cè)定ポイント 5000 ポイント その他 波形比較、REF 表示、インターロック機(jī)能付、外部インターロック（オプション） 外形寸法 / 質(zhì)量 約330W×370D×230H（mm）※突起部を除く / 約8.5kg 動(dòng)作溫度範(fàn)囲 0 ℃ ～ +40 ℃ 性能保証溫度範(fàn)囲 +10 ℃ ～ +35 ℃ 動(dòng)作濕度範(fàn)囲 0至+ 40°C，5％至80％RH（30°C，無(wú)冷凝） 上限55％RH（40°C，無(wú)冷凝） 電源輸入范圍 交流100-240 V 50 / 60Hz 能量消耗 25瓦