日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ
支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備。
使用磁控管陰極
內(nèi)置微電腦對成膜過程的高精度控制
操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)兩種模式
標(biāo)配自動(dòng)快門機(jī)構(gòu)

日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

日本electron臺(tái)式快速涂布機(jī)SC-701HMCⅡ

特征 支持W（鎢）/ Ni（鎳）/ Cr（鉻）/ Ti（鈦）等成膜的DC濺射設(shè)備。 使用磁控管陰極 內(nèi)置微電腦對成膜過程的高精度控制 操作方式為全自動(dòng)/手動(dòng)兩種模式 標(biāo)配自動(dòng)快門機(jī)構(gòu)   應(yīng)用/結(jié)果示例 W / Ni / Cr / Ti等的成膜 燃料電池基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)   基本規(guī)格 陰極 φ2英寸磁控管陰極 快門機(jī)制 自動(dòng)/手動(dòng)操作 氣體導(dǎo)入機(jī)制 針閥（自動(dòng)/手動(dòng)控制） 真空泵 直連式旋轉(zhuǎn)泵：100l / min（有自動(dòng)泄漏） 箱體尺寸 內(nèi)徑φ160mmx D160mm（SUS制） 樣品交換方法 前門開合式 尺寸（寬/深/高） 機(jī)身： 360/360 / 260mm RP：174/460 / 264mm 重量 身體：20公斤 RP：23公斤