美國(guó) SONIX

超聲波掃描顯微鏡

SONIX™公司是世界500強(qiáng)丹納赫集團(tuán)(NYSE: DHR)下的全資子公司，是超聲波掃描檢測(cè)儀和無(wú)損檢測(cè)設(shè)備的*製造商。 自1986年成立以來(lái)，SONIX™在無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域中不斷改革創(chuàng)新，是家基於微機(jī)平臺(tái)，提供全數(shù)位化成像方案的公司。 SONIX™ 一直致力於技術(shù)革新，提供給客戶*的聲學(xué)檢測(cè)技術(shù)。

SONIX™ 設(shè)備被廣泛應(yīng)用於各種材料的無(wú)損檢測(cè)，包括半導(dǎo)體，汽車零件和其他先進(jìn)元件。 擁有獨(dú)立開(kāi)發(fā)的軟體，硬體和專利技術(shù)，這麼多年來(lái)通過(guò)和客戶的不斷合作，實(shí)現(xiàn)了SAM技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)。 SONIX™ 努力提供準(zhǔn)確的資料，完美的圖像品質(zhì)，非凡的操作性和設(shè)備的高可靠性，從而為客戶提高效率，節(jié)約成本。

SONIX 軟體優(yōu)勢(shì)

● 可編程掃描，自動(dòng)分析
    定制掃描程式，一鍵開(kāi)始掃描，自動(dòng)完成分析，生成資料

SONIX 硬體優(yōu)勢(shì)

● 緊湊、穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
    模組化設(shè)計(jì)使得結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、穩(wěn)定，易於維護(hù)

● 高速、穩(wěn)定的馬達(dá)設(shè)計(jì)
    掃描軸採(cǎi)用進(jìn)的線性伺服馬達(dá)，提供高速、穩(wěn)定、無(wú)磨損的掃描

● 專利的超聲波探頭/透鏡
    提供精確的缺陷檢驗(yàn)，小能探測(cè)到僅0.1微米厚度的分層。

● PETT技術(shù)
    反射及透射同時(shí)掃描，有效提高元器件分析效率

封裝檢測(cè)設(shè)備

ECHO-LS™

晶圓檢測(cè)設(shè)備

AutoWafer Pro™

SONIX AutoWafer ProTM是專為全自動(dòng)晶圓檢測(cè)設(shè)計(jì)的機(jī)型，主要應(yīng)用在Bond wafer，MEMS 內(nèi)部空洞、離層檢測(cè)，TSV量測(cè)方面。

● 使用於200和300mm晶圓
● 符合一級(jí)淨(jìng)化間標(biāo)準(zhǔn)
● Cassette裝載，全自動(dòng)檢測(cè)，支持FOUP或FOSB機(jī)械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM協(xié)議
● KLARF輸出檔

Pulse 2TM 信號(hào)發(fā)生器/接收器 - 適合所有 ECHO & AutoWafer 設(shè)備

● 相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的信號(hào)發(fā)生器/接收器可獲得 +12dB
● SNR比例(Signal-to-noise Ratio)具備4x 倍進(jìn)展
● 從低層次的背景雜訊中分隔信號(hào)
● 產(chǎn)生乾淨(jìng)，清晰的圖像，即使在超高頻的信號(hào)轉(zhuǎn)換器

超聲波探頭 - 適合所有 ECHO 系列

Sonix S-series Transducer 超聲波探頭是為了滿足半導(dǎo)體製造商的高要求而設(shè)計(jì)的:-

● 自家研發(fā)
● 頻率範(fàn)圍寬闊
● 結(jié)構(gòu)堅(jiān)固