產(chǎn)品型號

1100℃多工位管式爐GSL-1100X-S

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸600mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

爐體結構

爐膛采用高純氧化鋁纖維材料，大程度減少能量損失。

高度可調(diào)的不銹鋼外殼。

背部可以調(diào)整的三個旋鈕，靈活改變爐子的垂直位置（從控制 盒平臺到爐膛下端）。

多種配置適用于各種熱處理需求。

多種位置可調(diào)                    可用作立式馬弗爐         固定旋鈕進行位置可調(diào)

認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

質保期

一年保修，終身技術支持。

特別提示：

1.耗材部分如加熱元件， 石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成 的損害不在保修范圍內(nèi)。

技術參數(shù)

1、電壓：AC220V, 50Hz

2、極限功率：1.5KW

3、加熱區(qū)：300 mm

4、工作溫度: 1000℃

5、極限溫度: 1100℃（小于30min）

6、推薦升溫速率:≤10℃/min

7、爐管尺寸及材質

石英管Φ50×610mm。

包括氧化鋁管堵用于阻止來自內(nèi)部管子的熱輻射。（管堵在加熱前必須*插入爐腔）

8、溫控系統(tǒng)

    全自動PID自整定功能

30 段可編程控制器，方便客戶按自己要求設定升溫曲線

設有超溫及斷偶保護

控溫精度: ±1 ℃

K型熱電偶

9、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金

10、密封法蘭及真空連接

    不銹鋼密封法蘭(左端進氣 口為1/4”軟管接口, 右端抽氣口為KF-25接口)

   標準的1/4“帶針閥的 寶塔嘴接口

     為了可以使用高壓氣體，您可以用1/4＂軟管接頭替換標準寶塔嘴管接頭

11、真空系統(tǒng)

包括雙旋片機械泵(220V, 226 L/m) 油霧過濾器& KF-D25不銹鋼真空波紋管和KF25 卡箍

真空度可達到1E-2 Torr ( 50 m-torr)（參考值）

分子泵：1E-5 Torr（參考值）

12、壓力測量/檢測：機械式壓力表，測量壓力范圍為-0.1至0.15Mpa。      

產(chǎn)品規(guī)格

260×380×400 mm (D x H x W)

重量：45Kg

可選配件

1、石英管堵（可提高爐管內(nèi)部真空度及潔凈度）。        

2、歐陸型溫控儀表，控溫精確度可以提升到±0.1℃（具體詳情請致電我公司銷售）。

3、兩種不銹鋼法蘭可供選擇：

    2"默認法蘭，帶1/4”寶塔嘴接頭，1/4＂管通孔（用于1/4＂外徑熱電偶插件）和KF25真空接

    1＂法蘭沒有熱電偶插頭 

4、擋板閥連接真空系統(tǒng)

5、不銹鋼波紋管（為了獲得更快更好的真空度，我們推薦使用）

6、快速連接法蘭

7、帶有數(shù)顯真空計和機械泵系統(tǒng)的爐子

8、KF25轉接頭替換標準寶塔嘴接頭（為了達到高真空）

           1英寸法蘭                                            2英寸法蘭

9、真空連接：

本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10^-5 至1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換。

KF25不銹鋼波紋管

KF25快速裝卸卡箍

10、真空系統(tǒng)

應用注意事項

爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公 司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊