RBLD系列氦質(zhì)譜檢漏儀是基于INFICON成套質(zhì)譜模
塊開發(fā)而成的工業(yè)用氦質(zhì)譜檢漏儀.它繼承了
INFICON系列產(chǎn)品具有的精確,穩(wěn)定,高重復(fù)性,zui小
維護,低成本和易使用等優(yōu)點,在此基礎(chǔ)上,結(jié)合睿
寶多年來在真空行業(yè)積累的經(jīng)驗,使其成為高性價
比,快速且穩(wěn)定的工業(yè)用氦質(zhì)譜檢漏儀。

氦質(zhì)譜檢漏儀

型號：RBLD201  

儀器資料：

  RBLD系列氦質(zhì)譜檢漏儀是基于INFICON成套質(zhì)譜模

塊開發(fā)而成的工業(yè)用氦質(zhì)譜檢漏儀.它繼承了

INFICON系列產(chǎn)品具有的精確,穩(wěn)定,高重復(fù)性,zui小

維護,低成本和易使用等優(yōu)點,在此基礎(chǔ)上,結(jié)合睿

寶多年來在真空行業(yè)積累的經(jīng)驗,使其成為高性價

比,快速且穩(wěn)定的工業(yè)用氦質(zhì)譜檢漏儀。

若檢漏儀需要頻繁地維修或維護就很難保證它的重

復(fù)性。設(shè)計于*穩(wěn)定運行和結(jié)合智能與自動調(diào)整

的RBLD系列可在zui小維護的需求下提供很高的可靠

性。此外，RBLD系列是*保證離子源燈絲至少可

使用三年的檢漏儀。INFICON的三年保修期是舉世

*的，它的意義遠遠不只是在燈絲上節(jié)省費用。

全面的系統(tǒng)監(jiān)測和優(yōu)質(zhì)的燈絲是高在機運行時間、

低成本、溫度穩(wěn)定性和*系統(tǒng)穩(wěn)定性的重要因

素。

適用于大多數(shù)測試系統(tǒng)的配置，RBLD系列在大多

數(shù)常用測試條件下都可提供快速和高重復(fù)性的結(jié)

果?？膳渲糜诖謾z和精檢模式,在每個模式中寬的

靈敏度范圍可使用靈活的測試技術(shù)。的線性特

性可在不同的漏率要求下對各部件每個漏點進行無

需再校準(zhǔn)的檢漏。

RBLD系列具備完善的系統(tǒng)監(jiān)測和本機診斷功能。儀

器精細地監(jiān)測與控制運行過程中的關(guān)鍵參數(shù)。診斷

碼自動提示,提供的診斷碼結(jié)合用戶手冊便于進行

故障查找。*的渦輪分子泵和及其電子學(xué)單元保

證zui長的在機運行時間。簡單與牢固的雙流式渦輪

分子泵提供轉(zhuǎn)子位置無比的高穩(wěn)定性和抗震性，大

大地延長了渦輪泵的使用壽命。

操作方式：觸摸屏中文界面

外形尺寸：RBLD201：46x87x61/RBLD301：

67x32x60（寬x高x深）厘米

質(zhì)譜儀：180°磁偏轉(zhuǎn)

燈絲：2根敷氧化釔的銥陰極

真空連接：DN16KF/DN25KF

電源電壓：AC220V（±10%）

頻率：50/60Hz

功率:RBLD201：<800W/RBLD301：<500W

zui大進氣口壓強:粗檢模式：1500Pa/低靈敏度（純

逆向氣流）：100Pa/高靈敏度（順流檢漏）：30Pa

預(yù)熱時間：≤3分鐘

可檢氣體：He2He3He4

zui小可檢漏率:低靈敏度（純逆向氣流）:2.0×10-

09Pam3/s；靈敏度（順流檢漏）:2.0×10-11

Pam3/s

測量范圍:2.0×10-11Pam3/s-------2.0×10-02

Pam3/s

響應(yīng)時間（至訊號的63%）：<1秒