手動(dòng)探針臺(tái)是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)明顯操作靈活的手動(dòng)探針臺(tái)。它采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金費(fèi)用。PS4L 系列探針臺(tái)滿足了客戶對(duì)規(guī)格參數(shù)精準(zhǔn)的要求。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，平臺(tái),卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動(dòng)，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的，這使得 PS4L系列探針臺(tái)以極低的價(jià)格便可滿足多種應(yīng)用需求。

SemiProbe手動(dòng)探針臺(tái)-直流探針臺(tái)-射頻探針臺(tái) PS4L 產(chǎn)品描述：

SemiProbe手動(dòng)探針臺(tái)-直流探針臺(tái)-射頻探針臺(tái) PS4L 是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)明顯操作靈活的手動(dòng)探針臺(tái)。它采用了 SemiProbe 技術(shù) Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了*的靈活性并大大地節(jié)省了設(shè)備資金費(fèi)用。PS4L 系列探針臺(tái)滿足了客戶對(duì)規(guī)格參數(shù)精準(zhǔn)的要求。與傳統(tǒng)的探針臺(tái)相比，SemiProbe 的 PS4L 系列探針臺(tái)中所有的基礎(chǔ)模塊-基座，平臺(tái),卡盤，顯微鏡裝置，顯微鏡移動(dòng)，光學(xué)組件，操縱器等都是可以更換的，這使得 PS4L系列探針臺(tái)以極低的價(jià)格便可滿足多種應(yīng)用需求，為客戶提供了完美的解決方案。

更重要的是，PS4L的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可以使探針臺(tái)在一個(gè)基本平臺(tái)的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級(jí)?？筛鶕?jù)測(cè)試環(huán)境和測(cè)試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)，由手動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為半自動(dòng)探針臺(tái)，半自動(dòng)探針臺(tái)升級(jí)為全自動(dòng)探針臺(tái)，或者6”升級(jí)為8”，8”升級(jí)為12”，增加密閉測(cè)試倉，增加高低溫等，以滿足用戶新的要求。這樣的設(shè)計(jì)理念使得即使當(dāng)晶圓尺寸，自動(dòng)化的程度或者測(cè)試要求發(fā)生改變時(shí)，PS4L也無需重新更換新的平臺(tái)，便可用短的時(shí)效和的費(fèi)用完成有效的測(cè)試。

SemiProbe手動(dòng)探針臺(tái)-直流探針臺(tái)-射頻探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)（型號(hào)：PS4L M-12）：

• 產(chǎn)品尺寸：1200mm * 650mm * 900mm
• 重量：110Kg
• 輸入電壓：110/220V 50/60Hz,20A
• 真空:23 Hg or -0.8 bar
• 卡盤X-Y軸軌道：行程:＞300mm粗調(diào)，25mm微調(diào)(可定制)
• 平面性:±7.5μm
• 分辨率:5μm
• 支架類型：快速對(duì)準(zhǔn)（標(biāo)配）、同軸/可編程（選配）
• 卡盤Z軸軌道：行程：＞20mm
• θ移動(dòng)：可轉(zhuǎn)角度：360°粗調(diào)，>10°微調(diào)
• 卡盤類型：真空或機(jī)械夾緊，圓形或方形，三軸，高頻，高壓/高電流，高低溫等
• 平面性:5μm
• 壓盤：鋁和不銹鋼頂部，可拆卸前楔
• 360度機(jī)械手放置
• 機(jī)械手固定：磁性(標(biāo)準(zhǔn))，真空(可選配真空歧管工具包)
• 壓盤位移：可選擇固定和線性調(diào)節(jié)（線性調(diào)節(jié)范圍：40mm粗調(diào)，200um微調(diào)）
• 顯微鏡：立體變焦、變焦或復(fù)式顯微鏡
• 顯微鏡安裝/移動(dòng)：可選吊桿、立柱或橋架安裝；可手動(dòng)或通過程控移動(dòng)

SemiProbe手動(dòng)探針臺(tái)-直流探針臺(tái)-射頻探針臺(tái)可選配件：

包括探針卡，操縱器，操縱臂和基座， 探針，激光，光學(xué)部件，CCTV 系統(tǒng)，隔振臺(tái)，暗箱。