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FMSS60P-20

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迷你臺,結(jié)構(gòu)緊湊

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電動位移臺選購指南 Feinixs系列產(chǎn)品命名規(guī)則 位移控制基本概念
FMSS60P-20



(1) 迷你臺,結(jié)構(gòu)緊湊
(2) 壓電電機(jī)
(3) 有真空版本
(4) 方臺,可組裝XY二維位移臺
詳細(xì)規(guī)格參數(shù)
產(chǎn)品型號FMSS60P-20
行程(mm)20
負(fù)載(Kg)2
分辨率(um)0.1
小運動增量(um)【1】0.2
單向重復(fù)定位精度/保證值*(um)±0.2
單向重復(fù)定位精度/典型值*(um)
雙向重復(fù)定位精度/保證值*(um)±0.5
雙向重復(fù)定位精度/典型值*(um)
準(zhǔn)確度/保證值*(um)±3
準(zhǔn)確度【2】/典型值*(um)
大速度(mm/s)5
直線度(um)5
平整度(um)5
Yaw-偏擺(")【3】10
Pitch俯仰(")10
持續(xù)推力(N)6
峰值推力(N)6
外形尺寸(mm)60x60x23
臺面尺寸(mm)60x60
[1]:小運動增量不等同于分辨率,小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的小量。一般來說,系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于小運動增量??紤]傳動結(jié)構(gòu)和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響,直線電機(jī)位移臺與步進(jìn)電機(jī)位移臺相比,其小運動增量更加接近于分辨率。
[2]:準(zhǔn)確度和重復(fù)定位精度是容易混淆的概念。一般采用打靶描述可以容易的區(qū)分這兩個概念。
[3]:只有直線度、平行度、Pitch、Yaw等參數(shù)都達(dá)到高水準(zhǔn)要求,運動系統(tǒng)的準(zhǔn)確度、重復(fù)定位精度才能達(dá)到高精度水平。也就是說,客戶一般只需要考慮準(zhǔn)確度與重復(fù)定位精度是否滿足應(yīng)用需求就可以選擇到滿意的位移平臺。當(dāng)客戶對平臺運動有更高要求時,非軸向參數(shù)是需要考慮的。
*:典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南

產(chǎn)品特性:

壓電腿直接與傳動軸摩擦傳動。壓電陶瓷運動腿與傳動軸接觸并有一定的預(yù)緊力,當(dāng)運動腿開始運動時,腿與傳動軸總是處于機(jī)械接觸中。
1、快速響應(yīng)和整定
2、高強(qiáng)度
3、強(qiáng)大的驅(qū)動力
G1等級交叉滾子導(dǎo)軌
高精度光柵尺作為閉環(huán)控制編碼器



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