美國NANOVEA公司的納米壓痕儀主要用于測量納米尺度的硬度與彈性模量，可以用于研究或測試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力-應(yīng)變曲線、疲勞、存儲(chǔ)模量及損耗模量等特性。可適用于有機(jī)或無機(jī)、軟質(zhì)或硬質(zhì)材料的檢測分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩繪釉漆，光學(xué)薄膜，微電子鍍膜，保護(hù)性薄膜，裝飾性薄膜等等?；w可以為軟質(zhì)或硬質(zhì)材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻

2，技術(shù)參數(shù)：

載荷范圍：0-400mN 
載荷分辨率：30nN 
zui大壓入深度：250um 
位移分辨率： 0.003nm
3，主要特點(diǎn)：

帶有反饋系統(tǒng)的載荷加載系統(tǒng) 

靈活的試樣夾具可夾持各種尺寸試樣

高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡觀測系統(tǒng) 

計(jì)算機(jī)軟件包，自動(dòng)進(jìn)行數(shù)據(jù)獲取、儲(chǔ)存、分析等 豐富、靈活的擴(kuò)展空間
4，選件：
其它力學(xué)測試模塊（如微納米劃痕、微納米摩擦磨損儀，納米劃痕等） 

環(huán)境(溫度、濕度）控制 
原子力顯微鏡成像系統(tǒng)

三維表面形貌儀掃描系統(tǒng) 
環(huán)境隔離罩 

5，公司簡介：

美國NANOVEA儀器公司二十年來致力于為材料、物理、機(jī)械工作者提供*、精準(zhǔn)、全面的材料機(jī)械性質(zhì)測試儀器、分析咨詢以及測試服務(wù)。我們的主要產(chǎn)品包括： 
測量材料硬度和彈性模量的納米級(jí)、微米級(jí)壓痕測試儀（納米壓痕儀, 顯微壓痕儀）； 
界定膜基結(jié)合強(qiáng)度、薄膜抗劃擦能力的納米級(jí)、微米級(jí)、大載荷劃痕測試儀 (Scratch tester) ； 包括高溫以及線性往復(fù)運(yùn)動(dòng)等選項(xiàng)的摩擦磨損測試儀、納米摩擦儀 (摩擦磨損試驗(yàn)機(jī) ； 膜厚測試儀； 用于三維成像表征材料表面形貌的原子力顯微鏡 (AFM) 和白光共聚焦三維表面形貌儀 。