具有更高的精確度和可重復(fù)性

您所查看的產(chǎn)品表面是否具有比較陡峭的坡度還是具有復(fù)雜的形貌？使用高清共聚焦顯微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)2納米的垂直分辨率。您所查看的產(chǎn)品平面是否非常平整但具有非常微小的尖峰和凹坑？可從以下三種干涉測量模式中選擇：垂直掃描干涉測量（VSI）；相移干涉測量（PSI）或者適用于分辨率高達(dá)0.1納米的擴(kuò)展相移干涉測量（ePSI）。如果您需要快速絢麗的高清二維圖像，則Leica DCM8可提供明視場模式和暗視場模式。