公司介紹：

德國Microworks 公司成立于 2007年, 是卡爾斯魯厄理工學(xué)院（KIT）微技術(shù)研究所 (IMT) 衍生的子公司。通過使用X 射線和激光LIGA技術(shù)，Microworks為客戶提供高精度微結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品。在微納米技術(shù)領(lǐng)域，Microworks代表著高精度。在一個(gè)晶片內(nèi)或者從一個(gè)晶片到另一個(gè)晶片，其高縱橫比和精度可以遠(yuǎn)低于1µm。其產(chǎn)品涵蓋相襯成像光柵、微齒輪、雙曲型電極、精密篩、近紅外濾波器（選頻濾波器）、微彈簧，RF等。

產(chǎn)品介紹：

由于材料中x射線的折射率略小于1，所以x射線透鏡有一個(gè)雙凹透鏡原件，每個(gè)聚焦元的焦距都非常小。通過線性地對(duì)齊許多元件，焦距可以顯著地減少到幾厘米的范圍。

沿光軸放置許多小透鏡元件，使入射的x射線光束逐漸聚焦到一個(gè)微米級(jí)焦點(diǎn)上。使用90度交替排列的原件使用垂直方向和水平方向都可以實(shí)現(xiàn)聚焦。透鏡元件的由SU-8光刻膠制成的，像聚合物在硅晶圓上。環(huán)氧樹脂抗蝕劑SU-8過去常使用在平板印刷過程中，它主要由高靈敏度、高靈敏度、x射線透明，且化學(xué)性能好和機(jī)械穩(wěn)定性的特點(diǎn)。目前透鏡的X射線穩(wěn)定性已經(jīng)測(cè)試到了≈2 MJ/cm3。

優(yōu)勢(shì)：

光軸不發(fā)生改變

聚焦質(zhì)量不會(huì)因長時(shí)間曝光而改變

易于安裝

菲涅爾透鏡可選

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1. 光子能量（KEV）（單色）

2. 光源尺寸(V [µm]× H [µm], FWHM)

3. SD，光源到鏡片中心距離（m）

4. WD, 工作距離，鏡片中心到焦點(diǎn)距離（mm）

5. 光源和透鏡間光學(xué)元件(虛擬光源，聚焦元件)的位置和和這些元件所在位置的光束尺寸。

6. 需要的聚焦光斑尺寸:(V [μm]× H [μm], FWHM)

7. 鏡頭中心到探測(cè)器平面的距離