Tergeo系列臺(tái)式等離子清潔儀
Tergeo系列臺(tái)式全自動(dòng)等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來(lái)清潔納米級(jí)樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤(pán)，進(jìn)行煤和有機(jī)物的灰化，激活聚合物、金屬和陶瓷表面官能團(tuán)，獲得表面親水性，提高鍵合強(qiáng)度和可印刷性，促進(jìn)科研生物相容性?？杉山胧胶瓦h(yuǎn)程式兩種等離子源，既可清潔電鏡光闌和TEM樣品桿，也可清潔石墨烯、碳納米管、類(lèi)金剛石碳和TEM載網(wǎng)多孔碳膜等脆弱的精細(xì)樣品。
Tergeo系列具有三種型號(hào)：
1）Tergeo 等離子清潔儀：這是一款經(jīng)濟(jì)實(shí)用的等離子清潔儀。
2）Tergeo-Plus大腔室等離子清潔儀：這是一款具有大樣品室的等離子清潔儀，可清潔寬達(dá)150mm的樣品。
3）Tergeo-EM等離子清潔儀：用于TEM樣品桿清潔以及去除SEM & TEM樣品的碳?xì)湮廴尽?/font>
儀器特點(diǎn)：
• Tergeo系列是能在一個(gè)系統(tǒng)中支持兩種清潔模式的等離子清潔儀。
Tergeo-EM標(biāo)配雙等離子源、并且具有清潔TEM樣品桿的功能；其余兩款
標(biāo)配浸入式等離子源，用于樣品表面清潔、蝕刻、灰化，可選遠(yuǎn)程式等離
子源用于溫和的污染清除及脆弱易損樣品的表面活化。
• 采用離子體強(qiáng)度傳感器技術(shù)，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)定量測(cè)量等離子強(qiáng)度
• 13.56MHz射頻發(fā)生器，自動(dòng)阻抗匹配調(diào)諧，雙源版本可脈沖工作
• 直觀的觸摸屏用戶(hù)界面，可儲(chǔ)存20條用戶(hù)程序，全自動(dòng)運(yùn)行
• 采用MFC(質(zhì)量流量控制器)調(diào)節(jié)的氣體輸送控制
• 高純石英樣品腔室和樣品托
*應(yīng)用：
• 集成電路芯片引線鍵合和封裝前的清潔
• 清潔TEM和SEM樣品，去除烴污染
• 親水性或疏水表面潤(rùn)濕性等離子處理
• 增強(qiáng)環(huán)氧樹(shù)脂/膠水粘合強(qiáng)度
• 用于清潔光學(xué)、激光、通訊用玻璃和光纖頭
• 改善MEMS微流體器件的潤(rùn)濕性
• 蝕刻光刻膠
• 剝除被膜，用于失效分析
• 隱形眼鏡、科研植入物等類(lèi)型科研的表面處理和激活
實(shí)驗(yàn)結(jié)果的一致性和可重復(fù)性對(duì)于科研和生產(chǎn)運(yùn)行是至關(guān)重要的。因此，
我們集成了多種過(guò)程控制技術(shù)來(lái)監(jiān)測(cè)和控制關(guān)鍵參數(shù)，如等離子體傳感
器、壓力傳感器和氣體輸入的自動(dòng)質(zhì)量流量控制器。Tergeo等離子清洗
機(jī)的操作是全自動(dòng)的。直觀的用戶(hù)界面，加上7英寸的觸摸屏，使本系
列儀器的操作像智能板一樣簡(jiǎn)單。嵌入微控制器支持20個(gè)可定制的配方
程序。Tergeo系列等離子體處理系統(tǒng)采用*的工藝控制技術(shù)，可為不
同用戶(hù)提供重復(fù)的日常運(yùn)行性能。
Tergeo系列臺(tái)式等離子蝕刻和表面清潔系統(tǒng)可用于研究、開(kāi)發(fā)等應(yīng)用。TEM用戶(hù)，請(qǐng)選用我們的Tergeo-EM具有清潔TEM樣品桿功能的等離子清潔儀；TEM和SEM及其它用戶(hù)也可查看EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子清潔系統(tǒng)。對(duì)于樣品桿儲(chǔ)存等應(yīng)用，可選用多用途樣品清潔及儲(chǔ)存腔室。
