15 級(jí)的寬測量范圍較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間

• 產(chǎn)品名稱：干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab
• 訂貨號(hào)：tlyon000292
• 品牌名稱：美國INFICON

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干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，

檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動(dòng)式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級(jí)中的簡單使用性、檢漏效率性和移動(dòng)性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。

通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。軟件 I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時(shí)較長反應(yīng)時(shí)間的煩惱，因?yàn)?UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

• 15 級(jí)的寬測量范圍
• 較短的抽氣和響應(yīng)時(shí)間
• 移動(dòng)式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
• I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應(yīng)時(shí)間
• 抑零功能和自動(dòng)積分時(shí)間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
• 含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
• 旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
• 自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動(dòng)吹掃循環(huán)可確保清理并隨時(shí)可進(jìn)行測試
• 通過電子郵件進(jìn)行軟件更新
• 含兩個(gè)燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時(shí)間和較低的維護(hù)成本
• 內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果

典型應(yīng)用

• 對(duì)半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
• 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
• 在現(xiàn)有工具中安裝前對(duì)部件執(zhí)行檢漏
• 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
• 內(nèi)置軟件菜單“自動(dòng)測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動(dòng)測試

規(guī)格

類型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣（真空模式）低可檢漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦氣（真空模式）低可檢漏率	mbar•L/s	<5E-12
氦氣（吸式）低可檢漏率	mbar•L/s	5E-8
MASSIVE 模式大進(jìn)氣口壓力	mbar	1000
GROSS 模式大進(jìn)氣口壓力	mbar	15
FINE 模式大進(jìn)氣口壓力	mbar	2
ULTRA 模式大進(jìn)氣口壓力	mbar	0.4
抽真空期間的抽氣能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
抽真空期間的抽氣能力	m³/h	> 30 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力	L/s	7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
可檢測質(zhì)量數(shù)		2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場		180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層		2
內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔	mbar•L/s	e-7
測試端口	DN 25 KF	1
可調(diào)觸發(fā)器		2
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
接口		2 x USB, Ethernet / LAN
圖形記錄器輸出	V	2 x10
輸入/輸出		PLC compatible
輸入/輸出		Via I/O 1000 module
允許的環(huán)境溫度（操作過程中）	°C	+10.....+40
保護(hù)類型		IP 20
重量
120
重量
120
重量
120
尺寸（長x寬x高）	mm	1050x472x987
尺寸（長x寬x高）
1050x472x987
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100
功耗	VA	1100

零件號(hào)

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號(hào)	明細(xì)
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

附件

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號(hào)	明細(xì)
14005	SL200，UL1000/5000/Modul1000 用吸槍探頭，4 米長
14022	RC1000 extension cable, 8 m
14090	LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-000	Toolbox, detachable,for UL1000
551-001	Helium Bottle Holder for UL1000/5000
551-002	ESD Mat for UL1000/5000
551-005	TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010	遙控器 RC1000C，有線，帶 4 米卷線
551-015	遙控器 RC1000WL，無線，包括無線發(fā)射機(jī)
551-020	RC1000WL 用無線發(fā)射機(jī)