根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO6145研制的熱式質(zhì)量流量控制器法的氣體稀釋裝置，稀釋范圍從（100-10000）倍，流量輸出（0.5-5）L/min，具有兩元或多元稀釋模式。

DL900  大量程超高純氣體稀釋裝置
根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)ISO6145研制的熱式質(zhì)量流量控制器法的氣體稀釋裝置，稀釋范圍從（100-10000）倍，流量輸出（0.5-5）L/min，具有兩元或多元稀釋模式。裝置中采用進(jìn)口熱式流量控制器，并經(jīng)高精度流量計(jì)校準(zhǔn)，流量偏差可控制在0.5%以內(nèi)，重復(fù)性小于0.2%，線性擬合系數(shù)R2>0.9999，稀釋裝置精度小于2%。

裝置優(yōu)勢：1、裝置內(nèi)部管線采用VCR與焊接相結(jié)合，具有非常好的密封性，可適用于高純及超高純氣體稀釋；

          2、裝置稀釋范圍大，稀釋比例可達(dá)105倍；
          3、節(jié)省載氣 ，可在出口氣體流量不變的情況下，進(jìn)行高倍數(shù)稀釋；
          4、允許稀釋后氣體有一定背壓（0.5MPa以內(nèi)），適合有進(jìn)樣壓力要求的儀器使用。