自動夾雜物檢查系統(tǒng)

 

1、 高整合的自動系統(tǒng)

 

全面整合進口顯微鏡、進口數(shù)碼設(shè)備、進口XYZ-3軸電動掃描臺；項目化管理、流程化操作。

 

2、 自動掃描

 

自動掃描整個樣品。支持多種掃描方式：矩形區(qū)域、圓形區(qū)域等；滿足各種不同標準、不同用戶的檢測需要，大大提高工作效率。

 

3、 自動聚焦

 

支持多種聚焦模式：補償聚焦、手動聚焦、EFI聚焦等。采用的聚焦算法，保證在試樣不夠平整的情況下也能得到清晰的圖像。

 

4、 自動拍照

 

自動拍照、照片自動保存，進度狀態(tài)實時可見；照片信息存入數(shù)據(jù)庫，方便查詢；提供視場圖片瀏覽功能，可以實現(xiàn)視場定位回溯、重新拍照等功能。

 

5、 支持多種檢測標準

 

支持多種國內(nèi)及標準：包括GB/T 10561、ISO 4967、JIS G 0555、ASTM E 45、BS EN 10247、GB/T 18254、DIN 50 602等；支持標準中的提到的多種處理方法，A~E法、K法、M法、P法等。系統(tǒng)定期更新夾雜物標準。

 

6、 自動識別夾雜物

 

系統(tǒng)自動識別夾雜物、自動識別劃痕或微裂紋并予以剔除；自動分析夾雜物類別（分別用不同顏色標出）、自動統(tǒng)計夾雜物顆粒參數(shù)；自動判定夾雜粗系或細系、鏈接同類夾雜顆粒、按選定標準評級。同時支持數(shù)據(jù)和圖像任意瀏覽、保存復查；支持夾雜物顆粒編輯/拆分/重組；支持陰影校正、提高識別精度；支持幀間顆粒探測技術(shù)，保證夾雜尺寸準確。提供多種統(tǒng)計分析工具：MAP圖、夾雜物顆粒列表、夾雜物統(tǒng)計結(jié)果、直方圖等。

 

7、 專業(yè)的夾雜物檢查報告

 

專業(yè)的夾雜物評級報告，包含各個類別的夾雜物評級，根據(jù)不同標準生成對應(yīng)的專業(yè)報告；支持報告的個性化設(shè)計。