德儀科技有限公司專業(yè)進口美國磁控濺射、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)和脈沖激光真空薄膜沉積設備，以及磁控濺射源/電源、電子束蒸發(fā)源、濺射靶材和蒸發(fā)材料等。十幾年來，憑著的品質，*的技術和周到的技術服務，德儀公司的產品為中國的高校、科研院所及企業(yè)的薄膜沉積工作提供了有力的支持。

• LOAD LOCK預真空進樣室（可選）
• 前開門蒸發(fā)腔體
• 冷凝泵和干泵
• 4個熱阻蒸發(fā)源或OLED低溫蒸發(fā)源
• zui大6”基片
• 基片旋轉
• 基片偏壓（可選）
• 離子源清洗基片（可選）
• 基片加熱1000度（可選）
• 晶振沉積速率及膜厚控制
• 系統(tǒng)手動或自動控制
• 良好的薄膜均勻性和重復性
• 可沉積金屬、半導體和絕緣材料
• 可沉積多層膜及合金薄膜