產(chǎn)品型號(hào)

1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<55℃。

2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料，有效減少能量損失。

3、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層，可以提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命。

4、采用PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。

5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源：?jiǎn)蜗?/span>AC 208V-240V   50Hz/60Hz  5KW

2、爐管：99.8%高純氧化鋁陶瓷管，外徑Ø80mm，內(nèi)徑Ø72mm，長(zhǎng)1000mm

3、加熱元件：1800℃級(jí)硅鉬棒8根

4、加熱區(qū)域：457mm

5、恒溫區(qū)域：150mm

6、工作溫度：1700℃

7、大升降溫速率：5℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、真空度：5×10^-2 torr

10、泄漏率：大6mtorr/min

真空系統(tǒng)

1、真空泵：雙旋片機(jī)械泵

2、可達(dá)真空度：5×10^-2 torr

3、法蘭：不銹鋼密封法蘭

4、針閥：2個(gè)不銹鋼針閥

5、真空泵接口：KF-25

6、軟管接頭：1/4″

7、真空顯示計(jì)：LED數(shù)字式真空顯示計(jì)，測(cè)量范圍0.1mtorr-850torr

浮子流量混氣系統(tǒng)

1、浮子流量計(jì)：3個(gè)，精確度4%FS

2、流量計(jì)范圍：10cc/min-100cc/min，16cc/min-160cc/min，25cc/min-250cc/min

3、壓力表：1個(gè)，監(jiān)測(cè)混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×500mm×700mm，混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm，

　　　真空機(jī)組600mm×600mm×700mm

重量：210kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)