產(chǎn)品型號

4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。

2、輝光放電等離子體中電子密度可達109cm³-1012cm³。

3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。

4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計，可準確地控制氣體流量。

5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分，可手動控制混合氣體的輸入。

7、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源：AC220V  4KW

2、爐管：Ø50mm，Ø60mm，Ø80mm都可用

3、溫度控制器：30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

4、加熱區(qū)：440mm

5、恒溫區(qū)：150mm

等離子射頻電源

1、輸入功率：AC220V  1KW

2、輸出功率：50W-500W可調(diào)，±1%

3、RF頻率：13.56MHz

4、噪聲：≤55DB

5、冷卻：風冷

真空泵和質(zhì)量流量計

1、真空度：10^-3torr

2、波紋管：KF25系列

3、質(zhì)量流量計：0-200，誤差0.02%，進氣口采用標準雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：管式爐550mm×380mm×520mm，供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

重量：120kg

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計