產(chǎn)品型號(hào)

高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺(tái)：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60℃。

2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率，延長(zhǎng)使用壽命。

3、設(shè)有三個(gè)溫區(qū)，可獨(dú)立控溫，可設(shè)置50段升降溫程序，并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)。

4、供氣系統(tǒng)與真空機(jī)組置于移動(dòng)架內(nèi)，方便移動(dòng)。

5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start”鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)（隔膜泵先啟動(dòng)，待真空度達(dá)到 10^-2mbar后分子泵自動(dòng)啟動(dòng)）。

6、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。

7、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

管式爐

1、電源：AC 208V-240V單相   50Hz/60Hz  7KW

2、爐管：高純石英管，外徑Ø100mm×內(nèi)徑Ø92mm×1400mm

3、加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)：溫區(qū)I長(zhǎng)220mm，溫區(qū)II長(zhǎng)440mm，溫度III長(zhǎng)220mm，總長(zhǎng)880mm

5、恒溫區(qū)：500mm（三個(gè)溫區(qū)設(shè)為同一溫度時(shí)）

6、工作溫度：1200℃，連續(xù)工作1100℃

7、大升溫速率：≤20℃/min

8、控溫精度：±1℃

9、熱電偶：3根K型熱電偶

高真空機(jī)組

1、輸入電源：AC110V或AC220V可切換  50Hz/60Hz

2、消耗功率：110W

3、殼體尺寸：600mm×600mm×700mm

4、大承重量：270kg

5、抽氣速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

6、工作范圍：1000mbar-<10^-7mbar

7、極限真空度：10^-5torr

8、數(shù)字式真空顯示計(jì)：10^-8mbar-10³mbar

質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

1、質(zhì)量流量計(jì)：9通道精密質(zhì)量流量計(jì)

2、流量計(jì)范圍：10sccm-1000sccm三個(gè)，20sccm-200sccm三個(gè)，30sccm-10sccm三個(gè)

3、壓力表：3個(gè)，用來檢測(cè)混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：爐體550mm×380mm×520mm，高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm，

　　　質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm

重量：100kg

真空配件

1

不銹鋼真空密封法蘭

2個(gè)

2

精密針閥

2個(gè)

3

1/4″軟管接頭

1個(gè)

4

高溫硅膠O型密封圈（可承受300℃）

6個(gè)

5

氧化鋁管堵

1套

6

KF-40真空波紋管

1根

7

KF-40快速卡箍

3個(gè)

8

KF-25卡箍

2個(gè)

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì)