產(chǎn)品型號

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層Al₂O₃纖維鋼構(gòu)，無需水冷或風(fēng)冷。

2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

3、PID控制器，可以設(shè)置30段升降溫程序，并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。

4、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：單相208V-240V AC  50Hz/60Hz  10KW

2、石英管：外徑Ø110mm，內(nèi)徑Ø103mm，長380mm

3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈Ø10mm，燈長300mm

4、加熱區(qū)：300mm

5、工作溫度：溫度1100℃

6、控溫精度：±0.5℃

7、升溫速度：RT-800℃時(shí)為50℃/s，800℃-1000℃時(shí)為10℃/s

8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制

9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水　冷，循環(huán)水流量為0.5m³/hr

10、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵），10^-5torr（分子泵）

11、質(zhì)量流量計(jì)：3個(gè)，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS

12、混氣罐：Ø80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

重量：爐體45kg，真空混氣系統(tǒng)75kg