產(chǎn)品名稱

VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號

VTC-600-3HD

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)（加注純凈水或者去離子水）

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（自帶Ø6mm雙卡套

       接頭）及減壓閥

4、工作臺：尺寸1500mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點

1、配置三個靶槍，一個配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜，兩個配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜（靶槍可以根據(jù)客戶需要任意調(diào)換）。

2、可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛。

3、體積小，操作簡便。

4、整機(jī)模塊化設(shè)計，真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計，可根據(jù)用戶實際需要調(diào)整。

5、可根據(jù)用戶實際需要選擇電源，可以一個電源控制多個靶槍，也可多個電源單一控制靶槍。

技術(shù)參數(shù)

1、電源電壓：220V  50Hz

2、總功率：＜2.5KW

3、極限真空度：< E-6mbar（配合本公司設(shè)備使用可達(dá)到 E-5mbar）

4、工作溫度：RT-500℃，精度±1℃（可根據(jù)實際需要提升溫度）

5、靶槍數(shù)量：3個

6、靶槍冷卻方式：水冷

7、靶材尺寸：Ø2″，厚度0.1mm-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同）

8、直流濺射功率：500W（可選）

9、射頻濺射功率：300W/500W（可選）

10、載樣臺：Ø140mm，可根據(jù)客戶需求選配加裝偏壓功能，以實現(xiàn)更高質(zhì)量的鍍膜。

11、載樣臺轉(zhuǎn)速：1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào)

12、保護(hù)氣體：Ar、N₂等惰性氣體

13、進(jìn)氣氣路：質(zhì)量流量計控制2路進(jìn)氣，1個流量為100 SCCM，1個流量為200 SCCM

產(chǎn)品規(guī)格

主機(jī)尺寸：500mm×560mm×660mm，整機(jī)尺寸：1300mm×660mm×1200mm；重量：160kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

直流電源控制系統(tǒng)

2套

2

射頻電源控制系統(tǒng)

1套

3

膜厚監(jiān)測儀系統(tǒng)

1套

4

分子泵（德國進(jìn)口）

1臺

5

冷水機(jī)

1臺

6

冷卻水管（Ø6mm）

4根

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材

掩膜版

振動樣品臺