技術參數(shù)

卷膜條件

鍍膜材料：PET 和無紡布

適用制膜：軟磁合金膜、金屬膜、導電膜、合金膜、介質(zhì)膜等。

基材厚度：125～300μm

有效鍍膜寬幅：≤800 mm

大卷繞直徑：Φ400 mm

卷繞芯軸內(nèi)徑：4 寸

基材卷繞速度：1～2 m/min

基材卷繞張力：30 ～ 200 N

張力系統(tǒng)：交流伺服

濺鍍方式：單面

真空條件

極限真空（空載、潔凈）：8×10-4Pa

恢復真空時間（空載、清潔）：105Pa ～ 5×10-3Pa≤60 min

系統(tǒng)真空漏率：1.0×10-10 Pa.m3/s

磁控濺射陰極數(shù)量：3 個

膜均勻性偏差：≤±10%