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VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī),勻膠機(jī)

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產(chǎn)品簡介

VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂儀、spin coater適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝。該機(jī)腔體采用聚丙烯材質(zhì),耐腐蝕且使用壽命長,可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿溶液的涂覆。本機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能,尤其適用于對(duì)紫外光敏感的膠體,可使涂覆后的膠體迅速固化;此外紫外燈還具有聚合作用,可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有膠塞,當(dāng)腔體需要密閉的環(huán)境時(shí)應(yīng)將膠塞堵好。腔體帶有進(jìn)氣孔,可在勻膠過程中對(duì)腔體通保護(hù)氣。樣件采用真空吸附方式進(jìn)行固定,操作簡單,使樣件取放自如。配用定心工具可使樣件很容易放在吸盤中心位置,以減少偏心帶來的震動(dòng),避免造成飛片。根據(jù)樣件的大小可以選擇不同規(guī)格的吸盤,吸盤更換簡單方便。本機(jī)使用精密直流無刷電機(jī),啟動(dòng)快、速度穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

 

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂儀、spin coater

主要特點(diǎn)

1、采用真空吸盤固定樣件,樣件固定牢固且取放簡單方便真空吸盤大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。

2、該機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能,紫外光的強(qiáng)度可以在一定范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整

3、本機(jī)上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有注液孔塞,當(dāng)腔體需要密閉環(huán)境時(shí)可使用該孔塞將孔密閉。

4、該機(jī)帶有保護(hù)氣接孔,可對(duì)腔體通保護(hù)氣。

2、電機(jī)部分、紫外燈光控制部分分別使用獨(dú)立電源進(jìn)行控制。電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)采用單板機(jī)+液晶顯示屏進(jìn)行控制數(shù)值顯示更直觀可靠,轉(zhuǎn)數(shù)500-10000RPM內(nèi)可調(diào);紫光燈采用抗干擾性強(qiáng)的PLC控制器進(jìn)行控制。

3、涂膜機(jī)在工作時(shí)設(shè)有兩個(gè)階段,在啟動(dòng)前根據(jù)實(shí)際需要,可分別進(jìn)行時(shí)間1、轉(zhuǎn)速1、時(shí)間2、轉(zhuǎn)速2的設(shè)置。設(shè)置完成啟動(dòng)后,涂膜機(jī)先以轉(zhuǎn)速1在時(shí)間1時(shí)間內(nèi)運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)逐漸分散開。當(dāng)時(shí)間1結(jié)束,涂膜機(jī)自動(dòng)進(jìn)入時(shí)間2階段運(yùn)轉(zhuǎn),使涂膜物質(zhì)更加均勻。

3、紫光燈真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)啟動(dòng)快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。

4、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的噪音。

5、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。

技術(shù)參數(shù)

1、電源:AC220/110V 50/60Hz

2、電機(jī)功率: 350W/24V

3、速度范圍:500-10000rpm

4、可儲(chǔ)存1組程序,程序包含2個(gè)運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍:

100 rpm s—2000 rpm /s,每段時(shí)間范圍:0-600s

5、吸盤規(guī)格:φ19mm  φ60mm

6、保護(hù)氣進(jìn)氣孔規(guī)格:φ8㎜

7、真空氣孔規(guī)格:φ8㎜

8、紫光燈功率范圍:8-30W

9、紫光燈時(shí)間設(shè)置范圍:1-800S

10、外形尺寸:450×280×340mm

11、重量:20Kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

真空吸盤

2(φ19 mm和φ60 mm)

2

中心定位器

1件

3

無油真空泵

1臺(tái)

可選配件

進(jìn)口移液器

 

國產(chǎn)移液槍

 

真空吸盤

 

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