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SE-VE光譜橢偏儀

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產(chǎn)品簡介:SE-VE 是一款、快速測量光譜橢偏儀,緊湊集成設(shè)計,使用簡便,可一鍵快速測量表征各式光學(xué)薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等信息。高性價比光學(xué)橢偏測量解決方案,緊湊集成化設(shè)計,用戶操作體驗,一鍵快速測量分析,人機交互設(shè)計,使用便捷,豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強大數(shù)據(jù)分析能力,廣泛應(yīng)用于科研/企業(yè)中各種單層到多層薄膜膜厚以及光學(xué)常數(shù)等快速表征分析。

 

產(chǎn)品型號

SE-VE光譜橢偏儀

主要特點

1、采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (400-800nm)

2、高精度旋轉(zhuǎn)補償器調(diào)制、PCRSA配置,實現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集

3、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術(shù)參數(shù)

1、自動化程度:固定角

2、應(yīng)用定位:經(jīng)濟型

3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R等光譜

4、分析光譜:400-800nm

5、單次測量時間:0.5-5s

6、重復(fù)性測量精度:0.05nm

7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm

8、入射角調(diào)節(jié)方式:固定角

9、入射角范圍:65°

10、找焦方式:手動找焦

11、Mapping行程:不支持

12、支持樣件尺寸:大至160mm

可選配件

1

溫控臺

 

2

真空泵

 

3

透射吸附組件

 


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