儀器簡(jiǎn)介：

　　20多年技術(shù)積累和發(fā)展的結(jié)晶,是一款高準(zhǔn)確性、高靈敏度、高穩(wěn)定性的經(jīng)典橢偏機(jī)型。即使在透明的基底上也能對(duì)超薄膜進(jìn)行確的測(cè)量。采用PEM相位調(diào)制技術(shù)，與機(jī)械旋轉(zhuǎn)部件技術(shù)相比,能提供更好的穩(wěn)定性和信噪比。

技術(shù)參數(shù)：

可選光譜范圍：

　　* UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm)

　　* UVISEL NIR (250 nm -2100 nm )

　　* UVISEL VIS (210 nm -880 nm )

　　* UVISEL FUV(190 nm -880 nm )

　　* UVISEL VUV(142 nm -880 nm )

　　* 多種實(shí)用微光斑尺寸選項(xiàng)

　　* 探測(cè)器：分別針對(duì)紫外，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測(cè)器

　　* 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：多種樣品臺(tái)可選

　　* 自動(dòng)量角器：變角范圍35° - 90°，全自動(dòng)調(diào)整，小步長(zhǎng)0.01°

主要特點(diǎn)：

　　* 50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無運(yùn)動(dòng)部件

　　* 具備超薄膜所需的測(cè)量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率

　　* 具有毫秒級(jí)超快動(dòng)態(tài)采集模式，可用于在線實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

　　* 自動(dòng)平臺(tái)樣品掃描成像、變溫臺(tái)、電化學(xué)反應(yīng)池、液體池、密封池等多種附件

　　* 配置靈活