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YAMATO潔凈厭氧高溫氣氛爐DTN430C/630C/450C/650C

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潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm的氣氛爐,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓等。

特點(diǎn)
● 工作溫度360℃和500℃、潔凈度100級(jí)、氧濃度低于20ppm,主要應(yīng)用于固化半導(dǎo)體晶圓(光刻膠PI、PBO固化)、玻璃基板烘烤、高精度退火處理等。
● 采用耐熱高性能高效過(guò)濾器,箱內(nèi)潔凈度始終保持在100級(jí),可在潔凈的環(huán)境下進(jìn)行高溫烘烤。
● 高氣密性的壓力箱構(gòu)造,氧濃度到達(dá)時(shí)間短,N2消耗量極低。
● 通過(guò)磁密封保持高氣密性,并采用水冷機(jī)構(gòu)保護(hù)密封部件免受熱量影響。
● 可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫,升降溫速率可調(diào)節(jié)。
● 標(biāo)準(zhǔn)裝備有廢液回收裝置,對(duì)氣體進(jìn)行冷卻回收。
● 液晶觸摸屏操作,自動(dòng)/手動(dòng)兩種運(yùn)行模式。
安全性
● 擁有門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、溫度過(guò)升防止器、氧濃度異常、氮?dú)鈮毫z測(cè)、氮?dú)饬髁繖z測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、漏水傳感器、過(guò)電流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)等安裝裝置。

規(guī)格:

型號(hào)

DTN430C

DTN630C

DTN450C

DTN650C

方式

氮?dú)庵脫Q+ 強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)

性能

使用溫度范圍

室溫+50360℃

室溫+50500℃

溫度調(diào)節(jié)精度

±0.5at360℃

±1.0at500℃

溫度分布精度

±5.0at360℃

±8.0at500℃

溫度到達(dá)時(shí)間

80分鐘

110分鐘

氧濃度

20ppm 以下

氧濃度到達(dá)時(shí)間

20分(250L/min 氮?dú)猓?/span>

25分(250L/min 氮?dú)猓?/span>

20分(250L/min 氮?dú)猓?/span>

25分(250L/min 氮?dú)猓?/span>

潔凈度

溫度恒定時(shí)100級(jí)

 

構(gòu)成

內(nèi)裝

不銹鋼板

外裝

冷軋鋼板,表面耐藥品性涂裝

斷熱材

硅酸鋁棉

加熱方式

不銹鋼加熱管

加熱功率

主加熱器

6.75KW

9KW

9.5KW

14.2KW

N2預(yù)熱

1KW

冷卻機(jī)構(gòu)

不銹鋼冷卻水換熱器

HEPA過(guò)濾器

集塵效率:0.3um粒子99.97%以上

控制器

溫度控制方式

PID控制

溫度控制器

液晶觸摸屏+PLC

運(yùn)行功能

手動(dòng)定值運(yùn)行、自動(dòng)程序運(yùn)行

程序模式

程序運(yùn)行9個(gè),每個(gè)程序可設(shè)置9步(可擴(kuò)展)

附加功能

操作員等級(jí)認(rèn)證

加熱器回路控制

SSR驅(qū)動(dòng)

傳感器

K型熱電偶(溫度控制及過(guò)升防止器)

安全裝置

門(mén)檢測(cè)開(kāi)關(guān)、過(guò)升防止器、氧濃度異常、N2 預(yù)熱溫度過(guò)升、水壓低檢測(cè)、N2 壓力低檢測(cè)、冷卻水流量檢測(cè)、N2 流量檢測(cè)、

風(fēng)機(jī)過(guò)載檢測(cè)、過(guò)電流漏電保護(hù)開(kāi)關(guān)等

規(guī)格

內(nèi)尺寸(寬××mm

450×450×450

660×500×660

450×450×450

660×500×660

外形尺寸(寬××mm

1090×950×1540

1300×1000×1750

1240×1010×1750

1450×1060×1960

內(nèi)容積

91L

216L

91L

216L

棚板層數(shù)/間距

12/30mm

19/30mm

12/30mm

19/30mm

排氣口

40KF法蘭

氮?dú)馊肟?/span>

Rc1/2

冷卻水入口

Rc3/4

熱水出口

Rc3/42個(gè)

電源(50/60Hz)額定電流

3AC380V 16A

3AC380V 19A

3AC380V 20A

3AC380V 27A

重量

900kg

1100kg

900kg

1100kg

選購(gòu)品

棚板、真空泵、溫度記錄儀、組合警示燈(待機(jī)/ 運(yùn)行/ 故障)、以太網(wǎng)通信功能



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