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RTS-2/RTS-2A型 便攜式四探針測試儀

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RTS-2/RTS-2A型便攜式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。

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RTS-2/RTS-2A型便攜式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,于測量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。如有需要可加配測試臺使用。
本儀器廣泛應(yīng)用于太陽能單晶(多晶)生產(chǎn)廠家為硅材料的分選測試,半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

RTS-2便攜式四探針測試儀測量范圍

電阻率:0.01~1999.9Ω.cm; 
方塊電阻:0.1~19999Ω/□;

RTS-2A測量范圍

電阻率:0.001~199.99Ω.cm; 
方塊電阻:0.01~1999.9Ω/□;

RTS-2恒流源電流量程分為100μA、1mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

RTS-2A恒流源電流量程分為1mA、10mA兩檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表

量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
輸入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;極性、超量程自動顯示;

四探針探頭基本指標(biāo):

間距:1±0.01mm;
針間絕緣電阻:≥1000MΩ; 
機(jī)械游移率:≤0.3%;
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm;
探針壓力:5~16 牛頓(總力);

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)

(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差( 按JJG508-87進(jìn)行)

1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測量大相對誤差(用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測試)≤±5%

整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度≤5%

外型尺寸125mm(寬)*145mm(高)*245mm(深)

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境

溫度:23±2;
相對濕度:≤65%;
無高頻干擾;
無強(qiáng)光直射;

天津諾雷信達(dá)科技有限公司

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