橢偏儀測膜厚的優(yōu)點?1.測量對象廣泛：可測透明膜，多層膜和其他性能不同厚度不同的膜。?2.被測量的薄膜尺寸可以很小。?3.測量速度快。（7-13s檢測時間）?4.光學(xué)測量方法對樣品表面損傷zui小。?5.測量精度高，海洋光學(xué)橢偏儀可以達(dá)到0.1nm的精度，而國內(nèi)同類型產(chǎn)品只能達(dá)到1nm精度.?6.非苛刻性測量，樣品可是塊狀固體或薄膜

海洋光學(xué)SpecEl 橢偏儀的基本原理：測量光在反射或者穿透待測樣品時其偏振性質(zhì)的改變。而偏振性質(zhì)的改變主要是由樣品的性質(zhì)，如厚度d、折射率n或消光系數(shù)k決定。

•偏振態(tài)的改變主要表現(xiàn)為振幅tan（Psi）和相位cos（Delta）的變化，而相位的變化會導(dǎo)致干涉條紋的產(chǎn)生，橢偏儀就是根據(jù)干涉光譜的分析來得出n,k,d.
•橢偏儀優(yōu)勢：非破壞性、非苛刻性、高精度和高靈敏度

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