橢偏儀SpecEL

SpecEL-2000-VIS 橢偏儀通過(guò)測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEL 通過(guò)PC 控制來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量。

橢偏儀SpecEL

SpecEL-2000-VIS 橢偏儀通過(guò)測(cè)量基底反射的偏振光，進(jìn)而測(cè)量薄膜厚度及材料不同波長(zhǎng)處的折射率。SpecEL 通過(guò)PC 控制來(lái)實(shí)現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測(cè)量。

集成的精確測(cè)量系統(tǒng)

SpecEL- 由一個(gè)集成的光源，一個(gè)光譜儀及兩個(gè)成70° 的偏光器構(gòu)成， 配有一個(gè)32 位操作系統(tǒng)的PC。該橢偏儀可測(cè)量0.1nm-5um 厚的單膜， 并且折射率測(cè)量可達(dá)0.005%。

SpecE1 軟件及Recipe 配置文件

通過(guò)SpecEL 軟件，您可以配置及存貯實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)方法用于1 步分析。創(chuàng)建recipe 后，可以選擇recipe 來(lái)執(zhí)行實(shí)驗(yàn)。SpecEL 軟件截圖顯示的Psi 及Delta 值可以用來(lái)計(jì)算厚度，折射率及吸光率。

特點(diǎn)

-- 膜厚測(cè)量精度高達(dá)0.1 nm，分辨率可達(dá)1nm
-- 可以測(cè)量zui多25 層膜
-- 單層膜可以測(cè)量zui大厚度10um
-- 光譜范圍 300-1000nm
-- 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量點(diǎn)尺寸0.4mmx1.2mm
-- 適合測(cè)量平面，半透明的樣品，例如晶圓，玻璃，膠片和金屬薄片
-- 提供3D 繪圖附件，參考晶圓等選項(xiàng)—可以定制方案
-- 配套軟件提供了建模功能和測(cè)量模型，可以減少繁瑣的重復(fù)測(cè)量。還可以提供用于膜厚繪圖的測(cè)量軟件。
厚度范圍：1nm-10μm
分辨率：0.1nm
測(cè)量速度：7-13秒
樣品厚度：5mm（zui大）
光學(xué)分辨率：1.0nm
射束直徑：400-1200μm
角度：70°