Phenom XL臺式掃描電子顯微鏡是一款使用高亮度 CeB6 燈絲的大樣品室臺式掃描電鏡。直徑小于 100 mm，放大倍數(shù) 100,000 倍以下的納米和亞微米樣品的表面顯微觀察，Phenom XL 是您正確的選擇。Phenom XL 具有 30 秒抽真空成像、全自動化操作、直接觀測絕緣體、防震設計等優(yōu)點， 其二次電子分辨率可以和普通大型鎢燈絲電鏡媲美，后期被拓展性很強。

Phenom XL臺式掃描電子顯微鏡介紹：
Phenom XL臺式掃描電子顯微鏡是一款使用高亮度 CeB6 燈絲的大樣品室臺式掃描電鏡。直徑小于 100 mm，放大倍數(shù) 100,000 倍以下的納米和亞微米樣品的表面顯微觀察，Phenom XL 是您正確的選擇。Phenom XL 具有 30 秒抽真空成像、全自動化操作、直接觀測絕緣體、防震設計等優(yōu)點， 其二次電子分辨率可以和普通大型鎢燈絲電鏡媲美，后期被拓展性很強。
產(chǎn)品參數(shù)：
光學顯微鏡：放大 3 - 16 倍
燈絲材料：1,500 小時 CeB6 燈絲
加速電壓：5 kV -20 kV 連續(xù)可調(diào)
電鏡放大：100,000 倍 
分辨率：優(yōu)于 14nm
抽真空時間：小于 30秒
探測器：背散射電子探測器（選配二次電子）
樣品室尺寸:100 mm×100 mm×40 mm
放置環(huán)境：普通實驗室或辦公室、廠房
能譜儀:可選配能譜儀
Phenom XL 提供高、中、低三級真空，可以選配二次電子探測器
Phenom XL 全自動顯微平臺可拓展U 中心樣品臺（Eucentric stage）和 1000 N拉伸臺（Tensile stage）
Phenom XL 電鏡腔室由原來的直徑32 mm 擴容為100 mm x 100 mm，一次可容納多達36 個1/2 英寸樣品臺，自動馬達樣品臺的移動范圍為X = 50 mm，Y= 50 mm（可選配X=100 mm,Y=100 mm）