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OLS5000 3D 美國測量的激光顯微鏡

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名稱： OLS5000 3D 測量激光顯微鏡
LEXT OLS5000 3D是一款激光掃描顯微鏡，通過非接觸方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測量，不會損壞樣品?？梢苑奖憧旖莸孬@取影像，同時配備豐富的測量功能、包括粗糙度測量。

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OLS5000 3D 測量激光顯微鏡 OLS5000 3D 測量激光顯微鏡

名稱： OLS5000 3D 測量激光顯微鏡

LEXT OLS5000 3D是一款激光掃描的顯微鏡，通過非接觸方式進(jìn)行樣品表面三維形貌觀察和測量，不會損壞樣品?？梢苑奖愕目旖莸孬@取影像，同時配備豐富的測量功能、包括粗糙度測量。

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美國測量的激光顯微鏡美國測量的激光顯微鏡


高分辨率，精確成像

憑借對各種類型樣品進(jìn)行精確3D測量的能力，系統(tǒng)可提供用于質(zhì)量保證和工藝控制的可靠數(shù)據(jù)。

的橫向分辨率


405納米紫色激光和高數(shù)值孔徑物鏡可以捕捉到傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡、白光干涉儀或紅色激光顯微鏡難以發(fā)現(xiàn)的精細(xì)紋理和缺陷。



紅光型（658納米：0.26微米空間)

微米紫光型（405納米：0.12線和空間)

*的測量值

LEXT物鏡可精確測量采用其他方式測量會發(fā)生畸變的周邊區(qū)域。


傳統(tǒng)物鏡


LEXT物鏡


新開發(fā)的MEMS掃描振鏡


新的MEMS掃描振鏡具有較低的掃描軌跡失真和較小的光學(xué)像差，可進(jìn)行精確的X-Y掃描。

























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