ALICAT防爆型氣體質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合，尤其是要求低壓損的應(yīng)用場(chǎng)合。

ALICAT防爆型氣體質(zhì)量流量控制器

• 差壓原理，具有防爆認(rèn)證
• 量程范圍：從0-0.5SCCM到0-4000SLPM
• 壓力范圍：1MPa
• 響應(yīng)時(shí)間：流量計(jì)10ms/控制器100ms
• 精度：±（0.8％讀數(shù)+0.2％滿(mǎn)量程）
• 可選±（0.4％讀數(shù)+0.2％滿(mǎn)量程）
• 認(rèn)證：ATEX、CSA，Class 1Division 2

ALICAT防爆型氣體質(zhì)量流量控制器可用于快速精確地測(cè)量過(guò)程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度，適用于多種流量測(cè)控場(chǎng)合，尤其是要求低壓損的應(yīng)用場(chǎng)合。

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