作為半導(dǎo)體FAB用，DVID-C光學(xué)平臺可在Class 1潔凈的室內(nèi)環(huán)境中使用。所有材料均用不銹鋼制作，可防腐蝕或退色問題，安裝有防靜電裝置與能夠保持潔凈室內(nèi)空氣潔凈度的集中排氣回收器具

DVID-C光學(xué)平臺特點：

 作為半導(dǎo)體FAB用，可在Class 1潔凈的室內(nèi)環(huán)境中使用。

 所有材料均用不銹鋼制作，可防腐蝕或退色問題

 安裝有防靜電裝置與能夠保持潔凈室內(nèi)空氣潔凈度的集中排氣回收器具

 為減少潔凈室內(nèi)空氣阻力使用打孔結(jié)構(gòu)的上板

 打磨焊接珠等粗糙物，便于使用擦拭器，不存在能夠積塵的縫隙或彎曲部位

DVID-C光學(xué)平臺技術(shù)指標(biāo)：

 固有頻率: 1.2Hz ~ 2.0Hz

 隔振效率: at 10Hz : 75% ~ 95% at 20Hz : 85% ~ 98%

 水平復(fù)位精度 : ±0.1㎜

 靜負(fù)載 : 500Kg

 自重 : 150 ~ 250Kg

 材料 : 支架及頂部：不銹鋼 頂蓋：不銹鋼

 工作氣源 : 3~5Kgf / cm2壓縮空氣或瓶裝液氮

 阻尼形式:孔式空氣阻尼

DVID-C光學(xué)平臺用途：

◆探針臺 ◆顯微鏡 ◆Mask ◆aligner ◆A.F.M ◆S.T.M ◆薄膜厚度形狀測定儀

◆其它半導(dǎo)體相關(guān)檢驗裝備