一、美國(guó)ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)
1、50毫秒內(nèi)完成穩(wěn)定的控制響應(yīng)
精確、穩(wěn)定的流量取決于控制響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器50毫秒內(nèi)即可到達(dá)新的設(shè)定值?？焖佟⒖芍貜?fù)、穩(wěn)定！
擁有可靠的穩(wěn)定性及響應(yīng)速度，艾里卡特?質(zhì)量流量控制器總是一擊擊中，為zui快的質(zhì)量流量控制器！采用艾里卡特?的層流壓差流量測(cè)量技術(shù)與高速比例控制閥相結(jié)合，使得到達(dá)設(shè)定值的速度遠(yuǎn)遠(yuǎn)快過(guò)您眨一下眼。
2、操作便捷
? 50-100毫秒控制響應(yīng)
? 允許用戶(hù)自行調(diào)節(jié)PID以獲得zui*的速度和穩(wěn)定性
? 定制化閥門(mén)孔徑以保證滿(mǎn)量程流量的穩(wěn)定性
? 同一臺(tái)設(shè)備控制質(zhì)量流量、體積流量或壓力
? 瞬間啟動(dòng)、無(wú)需預(yù)熱：1秒內(nèi)即可開(kāi)始流量控制
二、美國(guó)ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品系列
MC 標(biāo)準(zhǔn)系列
控制響應(yīng)zui快、zui穩(wěn)定的流量控制器。
MCR 大流量系列
精確控制大流量(50-3000 slpm)氣體。艾里卡特?R系列閥門(mén)為*的無(wú)摩擦閥門(mén)，可精密控制大流量的氣體流量，特殊的孔狀模式允許我們根據(jù)您的應(yīng)用需求量身定制閥門(mén)。
MCW / MCRW 低壓損系列
zui大限度減小壓損對(duì)系統(tǒng)的影響，滿(mǎn)量程壓損zui低僅為4mbar(0.06 psid)；艾里卡特?Whisper低壓損系列質(zhì)量流量控制器可控制接近大氣壓的壓力，是航空航天、環(huán)境氣體分析等應(yīng)用的*選擇；zui大量程：0-500 slpm。點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于Whisper系列
MCS / MCRS 耐腐蝕系列
所有量程均可采用適用于腐蝕性氣體的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于耐腐蝕系列
MCE / MCV 半導(dǎo)體行業(yè)系列
可快速、簡(jiǎn)易地替換老化陳舊的熱式流量控制器，可任意定制引腳功能使之與您的控制系統(tǒng)兼容，封閉式閥門(mén)設(shè)計(jì)更是符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。MCV系列另增加了后置的氣動(dòng)截至閥 ，專(zhuān)門(mén)用于真空應(yīng)用?？啥ㄖ葡鄳?yīng)的防腐蝕系列MCES / MCVS。zui大量程：0-20 slpm. 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于半導(dǎo)體行業(yè)系列
MCD / MCRD 雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
*雙向質(zhì)量流量控制器，可正向或反向控制氣體流量?？啥ㄖ频蛪簱p系列MCDW系列及防腐蝕型MCDS系列。 點(diǎn)擊這里了解更多關(guān)于雙向質(zhì)量流量&壓力控制器系列
三、美國(guó)ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器常用選配項(xiàng)
? 后置閥門(mén)，優(yōu)化真空及背壓應(yīng)用的控制
? 批量控制模式，依靠快速的閥門(mén)響應(yīng)來(lái)分配流量，包含在累加器(TOT)功能中
? CSA認(rèn)證1類(lèi)2區(qū) / ATEX認(rèn)證1類(lèi)2區(qū)允許設(shè)備用于危險(xiǎn)環(huán)境
? 9針或15針D-Sub等連接接口可選
? 通訊模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可選
? 彩色背光顯示屏適用于光線不足的場(chǎng)合
四、美國(guó)ALICAT真空應(yīng)用質(zhì)量流量控制器性能參數(shù)
指標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 |
量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM |
精度 | ±0.8%讀數(shù)±0.2%滿(mǎn)量程（可選高精度：±0.4%讀數(shù)±0.2%滿(mǎn)量程） |
重復(fù)性 | ±0.2% |
量程比 | 200:1 |
響應(yīng)時(shí)間 | 100ms |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
溫度范圍 | -10～50 |
零點(diǎn)漂移 | 0.02％ |
量程漂移 | 0.02％ |
濕度范圍 | 0-100% |
測(cè)量流量范圍 | 128％（過(guò)流率） |
zui大耐壓 | 145psi |
輸出信號(hào)（數(shù)字） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
數(shù)字信號(hào)可選 | RS485，Modbus，Profibus |
輸出信號(hào)（模擬） | 質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度 |
模擬信號(hào)可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
電氣連接 | 8針/9針/15針（根據(jù)不同類(lèi)型流量計(jì)而定） |
供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時(shí)為：15-30VDC） |
供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時(shí)為：0.055A） |
