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采用L型移動(dòng)橋式,由兩到三個(gè)高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌,左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動(dòng)橋,提高了運(yùn)動(dòng)質(zhì)心,減少了阿貝誤差

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主要特征:

 

     采用L型移動(dòng)橋式,由兩到三個(gè)高精度等高塊穩(wěn)固支撐Y向槽型導(dǎo)軌,左立柱與橫梁、滑架、鞍座共同組成移動(dòng)橋,提高了運(yùn)動(dòng)質(zhì)心,減少了阿貝誤差

——  X軸和Z軸均采用超精加工及經(jīng)過表面硬質(zhì)陽極化處理的航空鋁合金

——  Y軸采用一體化槽型精密花崗石導(dǎo)軌
——  Z軸采用的可調(diào)式氣動(dòng)平衡設(shè)計(jì),采用柔性懸掛系統(tǒng),避免了軸向運(yùn)動(dòng)和傳動(dòng)系統(tǒng)之間的干涉問題,提高了測(cè)量機(jī)的精度和*穩(wěn)定性
——  各運(yùn)動(dòng)軸均采用直流伺服驅(qū)動(dòng)+增強(qiáng)型同步帶,確保運(yùn)動(dòng)的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位

——  三軸均采用預(yù)載荷空氣軸承,運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn),導(dǎo)軌*受磨損

——  三軸均采用高精度歐洲進(jìn)口光柵尺,系統(tǒng)分辨率可達(dá)0.078um;同時(shí)采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光柵尺的變形,保證在溫度變化時(shí)的線性伸縮
—— 采用??怂箍禐镕unction Plus專業(yè)打造的IDC-II控制系統(tǒng),21項(xiàng)誤差空間修正技術(shù)和自動(dòng)調(diào)諧功能,保證了大型機(jī)器的動(dòng)態(tài)性能和測(cè)量精度
——  測(cè)量機(jī)三軸都配置溫度傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)控溫度變化,自動(dòng)補(bǔ)償由于溫度變化而引起的誤差
 ——  軟件為業(yè)界*的PC-DMIS BASIC (/PC-DMISu PREMIUM),功能強(qiáng)大,易學(xué)高效

 

規(guī)格型號(hào)與技術(shù)指標(biāo):

 

  

800

1000

機(jī)器型號(hào)

 

F10128

F121510

F122010

F122510

F12310

行程(mm

X

1000

1200

1200

1200

1200

Y

1200

1500

2000

2500

3000

Z

800

1000

1000

1000

1000

測(cè)量空間(mm

Dx

1100

1300

1300

1300

1300

Dy

1960

2340

2840

3340

3840

Dz

950

1150

1150

1150

1150

Dx1

153

173

173

173

173

Dy1

250

280

280

280

280

花崗巖平臺(tái)螺紋孔尺寸(mm

M1

133

156

156

156

156

M2

105

120

120

120

120

Mx

250

300

300

300

300

My

250

300

300

300

300

外形尺寸(mm

L

2370

2820

3320

3820

4320

W

1694

1980

2100

2100

2100

H

3150

3460

3750

3750

3750

承重(kg

 

1200

2000

2000

2000

2000

機(jī)器重量(kg)

 

4000

5300

8500

10500

12500

MPEe(μm)

 

4.0+L/300

5.0*L/300

5.0*L/300

7.0*L/300

7.0*L/300

MPEp(μm)

 

4.5

5.5

5.5

5.5

5.5

光柵尺分辨率(μm

 

0.4

0.4

0.4

0.4

0.4

空間移動(dòng)速度(mm/s

 

200

200

200

200

200

空間移動(dòng)加速度(mm/ s2

 

450

450

450

450

450

流量/供氣壓力

 

150 NI/min,0.45Mpa

150 NI/min,0.45Mpa

150 NI/min,0.45Mpa

150 NI/min,0.45Mpa

150 NI/min,0.45Mpa

注:工作環(huán)境為溫度(20±2, 濕度為45%-75%


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