采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結(jié)構(gòu)進(jìn)行非接觸式的測量，評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測量視場大小和精度也不同。視場的擴(kuò)展可通過釘合的方式來實現(xiàn)。
ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤，使采集的單個測量點相互平行。ACM 600目前是*商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比，微透鏡掃描盤使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測量結(jié)果。它的另外的*之處在于采用了LED作為光源，避免了使測量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無限長。儀器配備了物鏡切換盤，可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。
檢測物件的設(shè)定和測量全過程可以通過一個獨立的監(jiān)視器觀察。測量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評估程序。
儀器結(jié)構(gòu)緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤自動伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。
主要用途：
粗糙和光滑表面的測量和顯示
亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測量
金相測量
非接觸式表面輪廓的計量
主要特點
0,1mm2到0,7mm2視場
采用釘合方式擴(kuò)大視場
配置物鏡切換盤
確定垂直分辨率來設(shè)定測量時間
橫向分辨率可達(dá)1祄，垂直分辨率zui高可到5 nm
具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)
全自動數(shù)據(jù)評估
實驗室和在線兩用設(shè)計
主要優(yōu)點：
高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化
測量結(jié)果與材料表面性能無關(guān)
根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件
無人干預(yù)全自動測量過程
將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用
采用壓電驅(qū)動或步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行垂直掃描
軟件:
Windows XP 操作系統(tǒng)
測量和評估軟件包括下列功能：
水平調(diào)整，圖像縮放， 輪廓線的提取，毛刺的剔除, 過濾，數(shù)學(xué)計算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測定，斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。
用戶特定要求的計算方法
技術(shù)數(shù)據(jù)：
共焦顯微鏡頭
標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格配置50x/0.8物鏡
帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器
光源: LED
壽命 h: > 50,000小時
采用步進(jìn)電機(jī)時的測量范圍mm：50mm
采用壓電執(zhí)行器件時的測量范圍µm: 100/150µm
zui高垂直分辨率 nm: 5nm
zui高橫向分辨率µm: 1µm
工作距離mm: 0.66mm
視場µm: 370 x 280µm
256個高度臺階的測量時間s: 約 30秒
重量kg：約12kg
測量工作臺
X、Y、Z每軸位移mm: 50mm
zui小步距µm : 1µm
