對蝕刻圖形化后的藍寶石襯底進行測量結(jié)合常規(guī)的臺階儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)

 
藍寶石襯底臺階儀及干涉儀
對蝕刻圖形化后的藍寶石襯底進行測量
結(jié)合常規(guī)的臺階儀和掃描探針顯微鏡技術(shù)
長程掃描：zui大100 mm
短程掃描：采用精確的壓電陶瓷驅(qū)動掃描模式，三維掃描
范圍從10μm X 10μm 到500μm X 500μm，適合臺 階小或特征小的臺階
■ 不用額外付費，提供3D 測量軟件
■ 測量數(shù)據(jù)兼容功能強大的SPIP 分析軟件
■ 掃描頭精心設(shè)計，避免因意外觸碰引致的損壞
■ 實時力量監(jiān)控: 0.1 - 100 mg
■ 同時可選臺階儀和光學輪廓儀的功能，節(jié)省空間
■ 探針測量采用高精度的光學傳感器