隨著半導(dǎo)體技術(shù)向3nm/2nm先進(jìn)制程邁進(jìn)，以及第三代半導(dǎo)體(GaN、SiC)和異質(zhì)集成技術(shù)的快速發(fā)展，芯片性能與可靠性面臨前所未有的挑戰(zhàn)。超精密分析技術(shù)已成為突破工藝瓶頸、提升良率的核心手段——從原子級缺陷檢測、納米尺度材料表征，到封裝互連的微區(qū)性能分析，每一步都依賴高精度、高靈敏度的分析儀器與前沿方法。
 

　　
       2025年3月19日14：00，化工儀器網(wǎng)舉辦“第四屆半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上研討會”，將聚焦第三代半導(dǎo)體材料與器件的超精密分析技術(shù)，深入解析前沿分析方法、應(yīng)用場景與國產(chǎn)化路徑，為產(chǎn)業(yè)發(fā)展注入新動能，助力加速技術(shù)迭代與產(chǎn)業(yè)升級。
 

　　會議日程
 

具體以現(xiàn)場為準(zhǔn)
 

　　講師介紹(排名不分先后)
 

　　丁傳凡，浙江省先進(jìn)質(zhì)譜技術(shù)與分子檢測重點實驗室主任
 

　　教授，博士生導(dǎo)師。浙江省先進(jìn)質(zhì)譜技術(shù)與分子檢測重點實驗室主任，寧波大學(xué)材料科學(xué)與化學(xué)工程學(xué)院特聘院長，質(zhì)譜技術(shù)與應(yīng)用研究院副院長。主要研究方向為質(zhì)譜儀器和方法及其在臨床醫(yī)學(xué)，生命科學(xué)，化學(xué)和環(huán)境等方面的應(yīng)用。在國內(nèi)外一流學(xué)術(shù)雜志上發(fā)表SCI/EI論文230余篇；獲授權(quán)中國、美國、日本、德國、英國發(fā)明專利110余項。已轉(zhuǎn)讓國際和中國發(fā)明專利20余項，轉(zhuǎn)讓資金1100余萬。先后主持國家自然科學(xué)基金重大科學(xué)儀器項目，重點項目，面上項目，科技部重大儀器項目、科技支撐計劃，國家科技攻關(guān)重大項目等。
 

　　周維虎，中國科學(xué)院微電子研究所二級研究員
 

　　擔(dān)任國家科技獎評審專家、中國機械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎評審專家、國家02重大專項光學(xué)曝光系統(tǒng)總體組專家、科技部十三五先進(jìn)制造領(lǐng)域重大科技任務(wù)實施方案編寫組專家/總體組專家、科技部十三五科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)重大科技任務(wù)實施方案編寫組專家/總體組成員、國家02重大專項項目驗收專家、863項目驗收專家、973項目評審專家、科技部科學(xué)儀器重大專項評審專家(技術(shù)專家、監(jiān)理、中期評估專家組組長)、科技部國際合作評審專家、自然基金評審專家(重大科學(xué)儀器專項、優(yōu)青、面上、青年基金)、中國博士后科學(xué)基金評審專家、省市級自然基金評審專家(北京市、上海市、天津市、江蘇省、浙江省自然基金)、省市級科技計劃評審專家(北京市、上海市、江蘇省、蘇州市、常熟市、張家港市等)； 全國 光電測量標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會秘書長、中國計量測試學(xué)會計量儀器專業(yè)委員會副主任委員、中國儀器儀表學(xué)會光譜儀器專業(yè)委員會副主任委員、全國幾何量長度計量技術(shù)委員會特聘委員、中國儀器儀表學(xué)會精密機械分會理事會理事、中國儀器儀表學(xué)會光機電技術(shù)與系統(tǒng)集成分會委員、中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會專家委員、全國光輻射安全和激光設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會委員、全國產(chǎn)品尺寸和幾何技術(shù)規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會委員、中國計量測試學(xué)會微納測量技術(shù)委員會委員、中科院計算光學(xué)重點實驗室學(xué)術(shù)委員會委員、北京市光電信息與儀器工程研究中心學(xué)術(shù)委員會委員、中關(guān)村光電產(chǎn)業(yè)協(xié)會理事/專家委員、中國光學(xué)工程學(xué)會委員、中國光學(xué)學(xué)會光電技術(shù)專業(yè)委員會委員;目前主要研究方向為集成電路超高精度光學(xué)檢測、激光跟蹤多自由度測量、飛秒激光頻率梳高性能測量、視覺三維幾何量測量及缺陷檢測等。先后參與國家02重大專項、國家自然基金委重大儀器專項發(fā)展戰(zhàn)略、科技部科學(xué)儀器重大科技任務(wù)“十三五”實施方案、科技部先進(jìn)制造重大科技任務(wù)“十三五”實施方案、中科院有關(guān)科技計劃等論證與編寫工作。
 

　　方偉宇，珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司資深應(yīng)用工程師
 

　　畢業(yè)于東華大學(xué)，獲得高分子材料碩士學(xué)位，期間主要從事特種纖維的聚合、紡絲和改性研究?，F(xiàn)任珀金埃爾默技術(shù)支持，主要負(fù)責(zé)分子光譜的應(yīng)用。
 

　　王海銀，徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司應(yīng)用工程師
 

　　本碩畢業(yè)于英國帝國理工學(xué)院，納米材料碩士，現(xiàn)為徠卡顯微系統(tǒng)工業(yè)顯微鏡應(yīng)用工程師，負(fù)責(zé)工業(yè)顯微鏡相關(guān)的技術(shù)支持工作。熟悉半導(dǎo)體光刻技術(shù)，在微電子、材料科學(xué)及其他先進(jìn)制造領(lǐng)域有豐富的應(yīng)用經(jīng)驗。
 

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