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岱美儀器精彩亮相CIOE中國光博會(huì)，展示光學(xué)測量創(chuàng)新成果

2024-09-19 08:56:43來源：化工儀器網(wǎng)關(guān)鍵詞：計(jì)量檢測閱讀量：3614

　　【儀器網(wǎng) 新品掃描】中國國際光電博覽會(huì)(以下簡稱“CIOE中國光博會(huì)”)是專注于光電行業(yè)的國際知名展覽會(huì)，自1999年創(chuàng)辦以來廣受業(yè)界好評(píng)，展會(huì)規(guī)模不斷擴(kuò)大。2024年9月11日至13日，第二十五屆CIOE中國光博會(huì)在深圳國際會(huì)展中心盛大舉行。本次展會(huì)展廳多達(dá)12個(gè)，展示面積超24萬平方米，吸引了全球超過3700家優(yōu)質(zhì)企業(yè)參與。

展位現(xiàn)場

　　岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司成立于1989年，是一間擁有多年經(jīng)驗(yàn)的高科技設(shè)備分銷商，主要為數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、半導(dǎo)體、光通訊、高校及研發(fā)中心提供各類測量設(shè)備、工序設(shè)備以及相應(yīng)的技術(shù)支持，并與一些重要的客戶建立了長期合作的關(guān)系。本次岱美儀器受邀參加本次光博會(huì)，攜帶多款產(chǎn)品參展，在展會(huì)現(xiàn)場大放異彩。

展會(huì)現(xiàn)場

　　岱美在中國大陸地區(qū)主要銷售或提供技術(shù)支持的產(chǎn)品：晶圓鍵合機(jī)、納米壓印設(shè)備、紫外光刻機(jī)、涂膠顯影機(jī)、硅片清洗、超薄晶圓處理設(shè)備、光學(xué)三維輪廓儀、硅穿孔TSV量測、非接觸式光學(xué)三坐標(biāo)測量儀、薄膜厚度檢測儀、主動(dòng)及被動(dòng)式防震臺(tái)系統(tǒng)、應(yīng)力檢測儀、電容式位移傳感器等。本次岱美展示了QuickPRO精密計(jì)量產(chǎn)品和FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)等產(chǎn)品。

　　QuickPRO精密計(jì)量產(chǎn)品

QuickPRO精密計(jì)量產(chǎn)品

　　精密加工、PCBs、ASICs和光學(xué)(球面、非球面、衍射、微透鏡、注塑、薄膜)的高速表面檢測OATI的QuickPROIM計(jì)量系統(tǒng)利用多達(dá)兩個(gè)相對(duì)的彩色共焦光學(xué)傳感器來提供非接觸式z軸測量精度低于50nm，空間數(shù)據(jù)采樣低至2μm。此外，對(duì)于表面計(jì)量中最敏感的應(yīng)用，我們還提供干涉版(QuickPROTMOCT)用于超敏(<5nm)應(yīng)用。

　　QuickPRO"精密計(jì)量產(chǎn)品的單傳感器平臺(tái)(QuickPROTM RPS和QuickPROTM 3D)為您提供了一個(gè)簡單、可靠、具有戰(zhàn)略意義的高精度表面計(jì)量基準(zhǔn)，而我們的雙傳感器平臺(tái)(QuickPROTM CUBE-Mini和QuickPROTM CUBE-100)允許在不需要移動(dòng)被測單元的情況下進(jìn)行雙面表征，其優(yōu)點(diǎn)是增加了測量楔形和表面偏心的能力。

　　QuickPRO"精密計(jì)量產(chǎn)品為緊湊型臺(tái)式裝置，帶集成外殼和隔振操作；納米級(jí)精密直線電機(jī)載物臺(tái)，用于定制掃描程序，覆蓋范圍可達(dá)150毫米(200毫米掃描能力正在開發(fā)中)；Al/機(jī)器人兼容的控制軟件，實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化能力；利用超靈敏數(shù)據(jù)可視化識(shí)別地表變化的點(diǎn)云分析程序；高動(dòng)態(tài)范圍檢測程序，用于表征與法線成45度角的表面。

　　FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)

FR-ES：用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)

　　FR-ES用于薄膜表征的精巧型系統(tǒng)配件包括：濾光片可適用光刻膠測量、FR-Mic用于微米級(jí)別區(qū)域測量、各種手動(dòng)/自動(dòng)載物臺(tái)等，100x100mm或200x200mm、用于吸光度/透射率和化學(xué)濃度測量的薄膜/比色皿支架、用于漫反射和全反射的積分球、API二次軟件開發(fā)、接觸式探頭-ST是用于彎曲樣品反射率膜厚測量的獨(dú)特附件等。

　　FR-pOrtable: USB供電膜厚儀現(xiàn)場適配器：用于在需要點(diǎn)進(jìn)行測量；透射模塊：用于測量涂層的透射和吸收光譜、涂層厚度等；手動(dòng)XY平臺(tái)：用于表征多個(gè)位置的涂層(手動(dòng)移動(dòng))。

　　LAS-P-VIS™ 定心儀（偏心儀）

LAS-P-VIS™ 定心儀

　　LAS-P-VIS™定心儀是一個(gè)中等大小的非接觸式透鏡對(duì)準(zhǔn)和檢測儀，從地面開始設(shè)計(jì)，用于單元件、雙透鏡、三重透鏡和多元件透鏡組件的精密透鏡集中和傾斜測量，半徑范圍從+/-1mm到無限遠(yuǎn)(平面)，直徑從1mm到300mm，包括球面、非球面、圓柱形和拋物面。所有這一切都可以用一個(gè)單一的物鏡，允許快速和簡易的測量。

　　LAS-P-VIS™定心儀為中型、實(shí)心花崗巖結(jié)構(gòu)，剛性被動(dòng)隔振架；測量小到中等直徑透鏡和組件(約300毫米)；高功率綠色(520nm)激光器，光纖耦合到光模塊；90毫米工作距離(WD)物鏡，帶有附件快速連接螺紋；用戶友好的CalcuLens™組裝軟件和符合ISO標(biāo)準(zhǔn)的數(shù)據(jù)報(bào)告功能；亞微米級(jí)對(duì)中精度。

　　多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300

多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300

　　多功能紫外納米壓印光刻系統(tǒng)EVG7300是一個(gè)基于模塊化和改進(jìn)的SmartNIL模塊的獨(dú)立系統(tǒng)，可以根據(jù)處理和自動(dòng)化水平進(jìn)行配置。EVG7300支持從150毫米到300毫米的晶圓尺寸，具有低至300納米的高精度對(duì)準(zhǔn)，先進(jìn)的過程控制和高吞吐量，可以滿足各種自由形狀和高精度納米和微光學(xué)元件和器件的先進(jìn)研發(fā)和大批量制造需求。

　　這一產(chǎn)品旨在服務(wù)廣泛的新興應(yīng)用，包括微和納米壓印以及功能層的紫外線堆疊。該設(shè)備可以增強(qiáng)晶圓級(jí)光學(xué)，納米光子學(xué)，超表面和生物醫(yī)學(xué)芯片的工藝性能，可適用于自動(dòng)駕駛，汽車和裝飾照明中的微透鏡陣列和投影儀，生物識(shí)別認(rèn)證的衍射光學(xué)器件以及復(fù)雜元透鏡。

　　岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司憑借其卓越的產(chǎn)品與技術(shù)支持，在展會(huì)中贏得了廣泛贊譽(yù)與關(guān)注。QuickPRO精密計(jì)量產(chǎn)品和FR-ES精巧型薄膜表征系統(tǒng)的精彩亮相，不僅展示了岱美在光學(xué)測量領(lǐng)域的深厚底蘊(yùn)與創(chuàng)新實(shí)力，更為行業(yè)帶來了全新的技術(shù)視角與解決方案。未來，岱美儀器將不斷推動(dòng)光學(xué)測量技術(shù)的創(chuàng)新與發(fā)展，為全球客戶提供更加精準(zhǔn)、高效、全面的測量解決方案。

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