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　　傅里葉漫反射紅外光譜儀是一種基于反射模式的紅外光譜儀，它通過調(diào)節(jié)光斑來選區(qū)，選區(qū)面積較小，特別適用于bonding pad、Ball Land等光亮表面污染的分析。該儀器的基本原理是，當(dāng)光波射向樣品時，一部分光被樣品吸收，一部分光通過樣品反射回來。傅里葉變換紅外光譜儀可以將反射回來的光信號轉(zhuǎn)化為紅外光譜圖，從而測量樣品的分子結(jié)構(gòu)和化學(xué)鍵等信息。與透射紅外光譜儀相比，傅里葉漫反射紅外光譜儀適用于不同狀態(tài)的樣品，包括液體、固態(tài)、薄膜和粉末等，并且不需要扣除背景。