這是四川致研科技完成的一個非標(biāo)定制產(chǎn)品——真空鍍膜實驗設(shè)備,使用客戶是新加坡的科研用戶。
基本參數(shù): 1)真空,極限真空:2×10-4Pa。 2)恢復(fù)真空:從大氣→2×10-3Pa≤10min。 3)蒸發(fā)室,腔體尺寸:500x500x700 4)工件夾具:外徑φ100mm。 5)夾具轉(zhuǎn)速:N=9-300rpm 6)電源:220v/50Hz 7)總功率:3kw 8)溫濕度數(shù)據(jù)記錄頻率:1次/分(容量>6小時) 9)手動排氣閥直徑:25mm 10)頂部機械壓力表測量范圍:-0.1Mpa-0 11)平板電極材質(zhì):紫銅(300x300x2) 12)膜厚測試儀測量范圍:20nm-1μm 13)起泡器溫控精度:±0.5℃ 14)起泡器外接接口尺寸:1/4寸 |
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